Le NB-5000 possède 2 platines: une platine conventionnelle eucentrique et une platine optionnelle de grande stabilité avec des porte-objets compatibles avec les STEM et TEM.
Le micromanipulateur breveté par Hitachi permet d'extraire les micro-échantillons pour la préparation de lamelles TEM ou de micro-piliers.
Le NB-5000 a des performances inégalées :
La verticalité de la colonne FIB permet de faire la plupart des gravures à plat avec un grand courant ionique (>60nA dans un spot submicronique) et une tension d'accélération allant jusqu'à 40 kV pour une préparation ultra rapide des échantillons. Les échantillons TEM sont extraits de façon sûre et confortable par la technologie brevetée Hitachi. Les cross sections sont finies sous faibles tensions d'accélération et faible courant pour réussir des échantillons sans dommages pour les observer en microscopie corrigée en CS.
La colonne SEM du NB-5000 offre, comme le SU-70, un mode dual-optique avec des images live exemptes d'effet magnétique durant la gravure ou durant la phase finale de préparation des lamelles TEM, et un mode d'immersion semi in-lens pour les observations en ultra haute résolution.
La detection des DSE et BSE est faite par un detecteur Everhardt-Thornley dans la chambre (fonctionnant aussi pour les images SIM).
Un detecteur segmenté à photo-diodes permet la detection des TE et le BF et le DF avec un angle réglable. Cette fonction est utilisable durant la finition des lamelles TEM en live. ESD et EBSD complètent les possibilités analytiques et hautes performances de la colonne SEM.
|
