Le MEB à effet de champ à pression variable Hitachi SU 6600 permet de combiner les avantages de la pression variable et de la haute résolution. Sa chambre analytique permet l'adaptation simultanée de nombreux équipements tels que EDS, WDS, EBSD, cathodoluminescence, etc....

 Résolution garantie : 1,2 nm à 30kV / vide secondaire
 Résolution garantie : 3,5 nm à 30 kV / 10 Pa
 Emission Schottky
courant de sonde : jusqu'à 200nA
 Tension d'accélération : de 0,5 kV à 30 kV
 Gamme de pressions dans la chambre : jusqu'à 300 Pa
 Platine porte-échantillons eucentrique grands     déplacements, motorisée sur les cinq axes
Sas d'introduction des échantillons standard
 Détecteurs SE, BSE et ESED II