Le MEB compact Hitachi modèle SU1510 est facile à installer et très simple d’utilisation.

Il bénéficie néanmoins des possibilités et des performances d’un MEB haut de gamme pour l’imagerie et pour l’analyse élémentaire.

Résolution inférieure à 10nm, à haute et à basse tensions d’accélération

Modes vide poussé et pression variable pour les échantillons non conducteurs et fragiles

Détecteurs SE, BSE haute sensibilité

Grandissements jusqu’à x300.000

Grande chambre avec nombreux ports d’accès

Platine avec mouvements cinq axes (X,Y,Z,T,R)

Configuration analytique optimisée pour acquisition rapide de spectres, de lignes de profils et de cartographies spectrales qualitatives et quantitatives

Détecteur SDD sans azote à partir du Béryllium

Note : le système de microanalyse X est une option