LS-6700 HITACHI : système d'inspection "dark field"
Recherche automatique de défauts sur wafers non patternés |
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L'Hitachi LS-6700 combine haute résolution et haute sensibilité avec un throughput élevé. Il permet de détecter des défauts tels que des particules, des scratches, des COPs à la surface des wafers non processés ou au cours du process.
Un algorithme de classification permet la discrimination automatique selon le type de défaut avec un indice de confiance élevé. La grande précision des coordonnées de défauts facilite la revue ultérieure. |
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IS-2700 HITACHI : système d'inspection "dark field"
Recherche automatique de défauts sur wafers patternés |
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| L'Hitachi IS-2700 est un appareil performant et compatible avec les technologies les plus avancées. Il combine les avantages de la technique "dark field" (throughput élevé, facilité d'utilisation, faible CoO) avec ceux de la technique "bright field" (haute sensibilité). |
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| HA-3000 HITACHI : système d'inspection "Bright field" DUV |
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| L'Hitachi HA-3000 est un appareil de dernière génération adapté aux technologies très avancées et au développement. |
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